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产品特点
- 只要更换传感器单元就可以检测对象气体
- 用盒式传感器单元无需进行检测器校正
- 大幅度削减成本和维护时间
技术参数
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型号 |
XPS-7 |
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对象气体 |
半导体材料气体 |
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检测原理 |
定电位电解式 |
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取样方式 |
自动吸引式 |
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测量范围 |
根据规格 |
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分辨率 |
满量程的百分之一 |
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指示精度 |
FS±10%以内 |
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报警方式 |
报警灯闪烁，蜂鸣器断续鸣叫 |
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使用环境 |
0°C～+40°C |
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电源 |
5号锰干电池4节或AC变压器 |
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使用时间 |
连续12小时以上（使用碱性干电池无报警、20℃时） |
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外形尺寸 |
W762×H150×D128㎜(除去突起物) |
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重量 |
约1.3kg |
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标配附件 |
肩背皮带、5号碱性干电池4节、过滤片2张 |
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对象气体一览表 |
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型号 |
气体 |
F.S |
型号 |
气体 |
F.S |
型号 |
气体 |
F.S |
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XDS-7NH |
NH3 |
100ppm |
XDS-7GH |
GeH4 |
1ppm |
XDS-7HS |
H2S |
50ppm |
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XDS-7SH |
SiH4 |
25ppm |
XDS-7CL |
CL2 |
5ppm |
XDS-7CO |
CO |
250ppm |
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XDS-7DC |
SiH2CL2 |
25ppm |
XDS-7CF |
CLF3 |
1ppm |
XDS-7DS |
Si2H6 |
25ppm |
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XDS-7AH |
AsH3 |
250ppb |
XDS-7HC |
HCL |
25ppm |
XDS-7F2 |
F2 |
5ppm |
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XDS-7PH |
PH3 |
1ppm |
XDS-7HF |
HF |
10ppm |
XDS-7OZ |
O3 |
1ppm |
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XDS-7BH |
B2H6 |
500ppb |
XDS-7HB |
HBr |
10ppm |
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XDS-7SE |
H2Se |
250ppb |
XDS-7NO |
NO |
100ppm |
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